管式爐具有操作簡單、保溫效果好、控溫精度高、溫度范圍大以及可通氣氛等特點,主要應用于院校實驗室、工礦企業實驗室,應用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。管式爐的爐型有很多種,如立式、臥式、單溫區、雙溫區、三溫區、五溫區、單管、雙管等等。在實驗及生產中,應如何選擇管式爐爐型呢?下面簡單介紹一下如何根據要求來選擇管式爐:
1、根據工作溫度要求選擇:如果工作溫度要求小于1200°C,可選擇爐管為石英管,加熱元件是含鉬電阻絲的管式爐;如果工作溫度大于1200小于1400,可選擇爐管為氧化鋁,加熱元件是硅碳棒的管式爐;如果工作溫度大于1400小于1700,可以選擇爐管為氧化鋁,加熱元件是硅鉬棒的管式爐;
2、根據升溫速率要求來選擇:如果升溫速率要求不高,0-30°C/min,一般的管式爐都可以選擇,但如果升溫速率要求比較高,大于30°C/min,需要選擇具有快速退火功能的管式爐,比如滑動式快速退火爐,RTP快速退火爐等;
3、根據壓力要求來選擇,如果正壓超過0.03Mpa,需要選擇高壓管式爐,如果同時對溫度要求也比較高,需要選擇高溫高壓管式爐;
4、根據加熱區來選擇,如果需要多個溫區來進行加熱,則選擇多溫區管式爐,具體溫區數可以根據要求來選擇;
5、根據工藝受熱要求來選擇,比如對特定材料要求受熱更均勻,可根據需求來選擇旋轉管式爐、多工位管式爐等。
那么讓我們在使用管式爐的時候應當特別注意哪些情況呢?
1)使用之前查驗開關電源,確定各項指標達標后,再開始工作;
2)使用的全過程中不要再超出管式爐的大溫度;
3)讓我們在裝取試件的時候,要帶上隔高溫的手套、口罩等防護具體措施,避免觸電燙傷及其吸進高溫揮發掉的有害氣體;
4)實驗物品應當放到爐管中央,不可以亂排,不然影響實驗效果;
5)實驗全過程中,不要再亂摸管式爐及其四周的試件;
6)熱電偶不可以在高溫的狀態下拔出,避免出現外套管的炸裂;
7)如果管式爐密封的話,不可以通入易燃易爆氣體,爐體應當放到空氣流通處,時刻維持爐內清潔度;
8)不可以講高溫的溶液漏到爐底上,可以墊板或者氧化鋁粉隔離;
9)一旦實驗全過程中發現機器故障,讓我們應當第一時間關閉電源,待爐體冷卻后查驗原因;
10)不可以用沾有水和油的夾子裝取試件,避免發生火災事故;
11)管理員如果不允許的話,不可以操作管式爐,要按照管式爐的控制規程進行執行。